等離子清洗機主要適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積。

等離子清洗機的表面改性：紙張粘合，塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理；等離子清洗機的表面活化：生物材料的表面修飾，印刷涂布或粘接前的表面處理，如紡織品的表面處理；等離子處理機表面刻蝕：硅的微細加工，玻璃等太陽能領域的表面刻蝕處理，醫療器皿表面刻蝕處理；等離子清洗設備的表面接枝：材料表面特定基團的產生和表面活化的固定；等離子處理設備的表面沉積：疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積；

等離子清洗機（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機屬于干式清洗設備，可以省去濕化學加工過程中不可缺少的干燥，污水處理等過程，與其他處理方法相比，等離子清洗機既能改變材料表面性質，又可以不分處理對象，可以接觸多種材料，無論是金屬、半導體、氧化物、聚合物等。