等離子清洗機清洗對象廣如氧化物/半導體/金屬，任何材質都在清洗范圍內，不但可以準確精洗還可以對局部特定清洗，還可以改善物品表面活性能（濕度或粘度）。

等離子清洗機改善材料表面活性能，在清洗作業中不需要使用三氯乙烷類的有害溶劑，可有效避免被清洗表面污染物殘留。

等離子清洗機，提高封裝可靠性，經等離子清洗機處理后可增加材料表面張力，增強被處理物質的粘接強度，等離子清洗機通常被用在：1．等離子表面活化/清洗；2.等離子處理后粘合;3. 等離子蝕刻/活化;4. 等離子去膠;5. 等離子涂鍍(親水,疏水); 6. 增強綁定性；7.等離子涂覆；8.等離子灰化和表面改性等場合。 通過等離子清洗機的處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。等離子清洗機改善材料表面活性能

等離子清洗機可有效去除物體表面附著的有機物、無機物等微細污染物，在提升產品表面的親水性，達到強化粘接、涂覆、涂鍍等處理工藝的質量的同時，還大幅度提高產品的出品率。
等離子清洗機可清洗、活化并涂覆多種材料表面，達到徹底清理或改性而不損傷物體表面的效果。