微波等離子清洗機采用高密度微波等離子清洗技術，用于半導體生產中晶圓的清潔和等離子體預處理，微波等離子清洗機具有高度活性、高效，且不會對電子裝置產生離子損害。
·其它等離子體系統應用
等離子清洗機，等離子去膠機
1 等離子表面活化/清洗 5.等離子涂鍍（親水，疏水）
2.等離子處理后粘合 6.增強邦定性
3. 等離子蝕刻/活化 7.等離子涂覆
4. 等離子去膠 8.等離子灰化和表面改性，等離子接枝聚合等場合