等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合。
等離子清洗機可增強產品的粘附性、相容性、浸潤性。目前plasma等離子清洗機在光電子學、電子學、材料科學、高分子、生物醫學、微流體力學等領域得到了廣泛的應用。